世界微速訊:實現(xiàn)突破!國產化臺階儀成功面世
(資料圖片僅供參考)
臺階儀(Profiler),一種接觸式表面形貌測量儀器,因為精度高、量程大、測量結果穩(wěn)定可靠、重復性好等優(yōu)點,在微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學研究和材料科學等領域,被廣泛用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量。而就是這樣一種常見且關鍵的測量設備,一直以來卻被美國Bruke、美國KLA、日本Kosaka三家廠商壟斷,國內處于一個無同類國產產品可用的狀態(tài)。
進口臺階儀受限帶來的是越來越多國內半導體企業(yè)對于國產臺階儀的迫切需求。而就在今年,這一情況被打破了。2022年6月,安徽澤攸科技有限公司推出了自主研發(fā)的全國產化臺階儀JS100A,國產化臺階儀至此也實現(xiàn)了重要突破。
JS100A臺階儀采用了金剛石探針,提供了兩個彩色攝像頭對樣片和針尖同時成像,可清晰準確找到測試位置,實現(xiàn)無畸變觀察樣品區(qū)。同時,在實時掃描過程中,JS100A能自動切換輔助顯微鏡,進一步保障掃描的準確性。
而在核心技術方面,JS100A實現(xiàn)了3個突破,即“大行程超平面掃描技術”“大行程壓電陶瓷驅動快速進針技術”“大帶寬大行程納米微動臺技術”,這三大突破也讓臺階儀具備了超精細的運動控制,超精密位移傳感,超低噪聲信號采集。
此外,從儀器商品的角度來說,JS100A臺階儀作為全國產化臺階儀,售價會遠低于進口產品,可以降低用戶的采購成本,并且相對的,能夠提供更加完善便攜的售后服務,給用戶帶去更多便利。
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